近日，2022年市重点建设项目——华慧芯二期光电子芯片产业化项目在中新天津生态城滨旅产业园落成。这是本市首条具备批量加工光电全材料体系、可生产多种高端光电子芯片的生产线，年产值达10亿元，填补了我国该类型光电生产线的空白。

据了解，该项目由清华大学天津电子信息研究院孵化企业华慧芯科技集团有限公司投资建设，厂房建筑面积达17500平方米，超净间区域面积近7000平方米。项目投产后将聚焦高端光通讯、光传感、AR增强现实等领域的光电子芯片生产。

“作为清华电子院与生态城管委会开展合作后首个科研成果产业化项目，该项目从规划设计到设备选型，均由华慧芯自主完成，项目的生产工艺完全自主可控。”据华慧芯常务副总经理宋学颖介绍，生产线配备了包括光刻机、刻蚀机、镀膜机、测试机等在内的百余台/套世界领先的半导体芯片工艺设备，可生产的高端光通讯芯片广泛应用于5G基站、数据中心、骨干网络等建设场景。目前，此类芯片进口率超90%，本次项目的投产将有效缓解“卡脖子”问题。其中，可在该项目上生产的薄膜铌酸锂调制器(高端光通讯领域)、衍射光波导纳米压印模板(AR增强现实领域)已吸引多家外地上市公司来津洽谈业务合作，相关生产工艺已达到国际先进水平。

该项目的建成将有力支撑天津打造“1+3+4”产业体系，为天津市集成电路产业链起到“补链强链”的作用，将带动国内光电创新领域企业加强与津合作，助力天津逐步建立光电创新领域产业生态圈。(岳珊)

关键词： 高端光电子芯片生产线 清华大学 科研成果 材料体系