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美股半导体设备股延续涨势，泛林集团、科磊涨超3%，应用材料涨超2%，盘中均创历史新高；阿斯麦涨近3%，股价接近历史高位。

关键词： 半导体设备 半导体 零部件 设备 ETF 涨